Nanomechanical oscillator

Details Nanomechanical oscillator Nanomechanical oscillator

H - Electricity

02

N

H02N 2/00 (2006.01) B32B 5/16 (2006.01) G01P 15/08 (2006.01) H01L 27/10 (2006.01) H01L 41/08 (2006.01)

Patent

CA 2592169

A mechanical oscillator (20) has components with dimensions in a sub-micron range to produce resonance mode oscillations in a gigahertz range. A major element (21) is coupled to a minor, sub-micron element (22) to produce large amplitude gigahertz frequency oscillation that is detected with readily available techniques. The mechanical structure can be formed according to a number of geometries including beams and rings and is excited with electrostatic, magnetic and thermal related forces, as well as oilier excitation techniques. The mechanical structure can be arranged in arrays for applications such as amplification and mixing and is less sensitive to shock and radiative environments than electrical or optical counterparts.

Oscillateur mécanique à composants de dimension inférieure au micron permettant de produire des oscillations en mode de résonance dans la gamme des gigahertz. Un élément majeur est couplé à un élément mineur de taille inférieure au micron, pour produire une oscillation de fréquence en gigahertz de grande amplitude, décelée par le biais de techniques largement disponibles. La structure mécanique peut être établie suivant un certain nombre de géométries, y compris les faisceaux et les anneaux, et elle excitée par des forces de type électrostatique, magnétique et thermique, et par d'autres techniques d'excitation. La structure mécanique peut être disposée en réseaux pour des applications comme l'amplification et le mélange, et elle est moins sensible aux chocs et aux rayonnements que d'autres types d'appareils électriques ou optiques similaires.

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