C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/16 (2006.01) B01D 7/02 (2006.01) B01D 53/00 (2006.01) C22B 23/06 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
Patent
CA 2307036
A closed loop, carbon monoxide self-contained preferably continuous process and apparatus for the production of nickel or nickel coated objects by nickel vapour deposition (NVD), comprising placing an object (34) to be treated with nickel carbonyl in a deposition chamber (28); feeding a gaseous mixture of nickel carbonyl and carbon monoxide to the chamber; producing the nickel or nickel coated object and a nickel carbonyl-depleted gaseous mixture; removing nickel carbonyl from the nickel carbonyl-depleted gaseous mixture in a primary (40) and subsequent secondary (48, 50) condensation unit and, preferably, a tertiary condensation unit to produce an essentially nickel carbonyl-free gas. The secondary and tertiary (72, 74) condensation units operably freeze out and subsequently thaw nickel carbonyl and most preferably each comprises a pair of units linked in parallel arrangement operative in alternating, alternate freeze-thaw modes. Carbon monoxide-containing gas is recycled to a nickel carbonyl reactor (86).
Appareil autonome en boucle fermée et à monoxyde de carbone, et procédé de dépôt associé, de préférence en continu, pour la production de nickel ou d'objets à revêtement en nickel par dépôt de nickel en phase vapeur (NVD). Ledit procédé consiste à placer un objet (34) à traiter avec du nickel carbonyle dans une chambre de dépôt (28), à introduire un mélange gazeux de nickel carbonyle et de monoxyde de carbone dans la chambre, à produire le nickel ou l'objet à revêtement en nickel et un mélange gazeux appauvri en nickel carbonyle, à supprimer le nickel carbonyle du mélange gazeux appauvri en nickel carbonyle dans une unité de condensation primaire (40) puis secondaire (48, 50) et, de préférence, dans une unité de condensation tertiaire (72, 74) pour produire un gaz pratiquement exempt de nickel carbonyle. Les unités de condensation secondaire et tertiaire séparent le nickel carbonyle par congélation, puis le font dégeler. Idéalement, chacune de ces deux unités comporte une paire d'unités reliées selon une disposition parallèle, fonctionnant dans des modes alternés de congélation-dégel. Le gaz contenant le monoxyde de carbone est recyclé dans un réacteur (86) à nickel carbonyle.
Milinkovic Miroslav
Reynolds Rodney P.
Terekhov Dmitri S.
Chemical Vapour Deposition Systems Inc.
Cvmr Corporation
Norton Rose Or S.e.n.c.r.l. S.r.l./llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1806612