Non-contaminating pressure transducer module

Details Non-contaminating pressure transducer module Non-contaminating pressure transducer module

G - Physics

01

L

G01L 9/00 (2006.01) G01L 19/14 (2006.01)

Patent

CA 2312748

A non-contaminating pressure transducer module having an isolation member is disclosed. The isolation member isolates a pressure sensor (88) within the transducer module from exposure to ultra high purity fluids flowing through a conduit in the module without significantly affecting the accuracy of the pressure measurement. The transducer module may be positioned with a fluid flow circuit carrying corrosive materials, wherein the pressure transducer module produces a control signal proportional to either a gauge pressure or an absolute pressure of the fluid flow circuit. The pressure transducer module of the present invention also avoids the introduction of particulate, unwanted ions, or vapors into the flow circuit.

L'invention concerne un module transducteur de pression non contaminant présentant un élément d'isolation. L'élément d'isolation isole un capteur de pression (88) à l'intérieur du module transducteur de l'exposition à un écoulement de fluides hautement épurés à travers un conduit dans le module sans modifier à peine la précision de la mesure de pression. Le module transducteur peut être placé avec un circuit d'écoulement fluide portant des matières corrosives, le module transducteur de pression produisant un signal de commande proportionnel à la pression manométrique ou à une pression absolue du circuit d'écoulement de fluide. Le module transducteur de pression permet aussi d'éviter que des ions particulaires indésirables ou des vapeurs n'entrent dans le circuit d'écoulement.

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