B - Operations – Transporting – 01 – J
Patent
B - Operations, Transporting
01
J
B01J 35/00 (2006.01) B01J 20/02 (2006.01) B01J 20/32 (2006.01) B01J 21/06 (2006.01) B01J 37/00 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)
Patent
CA 2467790
Disclosed are getter multilayers formed of at least a layer (12) of a non-evaporable getter alloy having a low activation temperature over a layer (11) of a different non-evaporable getter material having high specific surface, both obtained by cathodic deposition; the deposits of the invention show getter gas sorbing characteristics and activation temperature lower than those of deposits made up of a single material. The process for manufacturing these deposits is also disclosed.
La présente porte sur des multicouches de dégazage formées d'au moins une couche (12) d'un alliage dégazeur non évaporable comportant une température d'activation peu élevée sur une couche (11) d'un différent matériau de dégazage non évaporable doté d'une surface spécifique élevée, les deux obtenues par un dépôt cathodique; les dépôts de l'invention illustrent des caractéristiques de sorption de gaz dégazeur et une température d'activation inférieures à celles de dépôts fabriqués d'un seul matériau. La présente porte aussi sur le procédé de fabrication de ces dépôts.
Conte Andrea
Moraja Marco
Gowling Lafleur Henderson Llp
Saes Getters S.p.a.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1760087