G - Physics – 06 – F
Patent
G - Physics
06
F
G06F 19/00 (2006.01) B23K 26/02 (2006.01) B23K 26/08 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01) G02B 26/10 (2006.01) G06G 7/64 (2006.01) G06G 7/66 (2006.01) H01L 23/525 (2006.01)
Patent
CA 2438566
Laser beam positioners (Figure 12, 340, 236, 260, 262, 302, 304, 310, 312, 316, 318, 320, 322, 324, 326, 328, 330, 336, 342) employ a steering mirror that performs small-angle deflection of a laser beam to compensate for cross- axis setting errors of a positioner stage. A two-axis mirror is preferred because either axis of the positioner stages may be used for performing work. In one embodiment, the steering mirror is used for error correction only without necessarily requiring coordination with the positioner stage position commands. A fast steering mirror employing a flexure mechanism and piezoelectric actuators to tip and tilt the mirror is preferred in semiconductor link processing ("SLP") applications. This invention compensates for cross-axis settling time, resulting in increased SLP system throughput and accurately while simplifying complexity of the positioner stages because the steering mirror corrections relax the positioner stage servo driving requirements.
L'invention concerne des dispositifs de positionnement de faisceaux laser (340, 236, 260, 262, 302, 304, 310, 312, 316, 318, 320, 322, 324, 326, 328, 330, 336, 342) utilisant un miroir d'orientation qui réalise une déflexion à angle réduit d'un faisceau laser afin de corriger les erreurs de détermination de l'axe transversal d'un étage de positionnement. On utilise de préférence un miroir biaxial étant donné que les deux axes des étages de positionnement peuvent être utilisés pour accomplir des travaux. Dans un mode de réalisation, le miroir d'orientation est utilisé uniquement pour corriger les erreurs sans nécessairement exiger une coordination avec les commandes de position de l'étage de positionnement. On utilise de préférence, dans les applications de traitement de liaison de semi-conducteur ("SLP"), un miroir d'orientation rapide utilisant un mécanisme de flexion et des actuateurs piézo-électriques afin d'incliner le miroir dans le sens longitudinal et transversal. En corrigeant le temps de réglage de l'axe transversal, la présente invention entraîne une augmentation du rendement et de la précision du système SLP, tout en simplifiant la complexité des étages de positionnement étant donnée que les corrections du miroir d'orientation assouplissent les exigences de servocommande de l'étage de positionnement.
Bruland Kelly
Lo Ho Wai
Swaringen Stephen
Unrath Mark
Electro Scientific Industries Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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