Onium salts and the use therof as latent acids

Details Onium salts and the use therof as latent acids Onium salts and the use therof as latent acids

C - Chemistry, Metallurgy

07

C

C07C 381/12 (2006.01) C07C 25/18 (2006.01) C07C 305/00 (2006.01) G03F 7/004 (2006.01)

Patent

CA 2428255

A chemically amplified photoresist composition comprising, (a) a compound which cures upon the action of an acid or a compound whose solubility is increased upon the action of an acid; and (b) as photosensitive acid donor, at least one compound of the formula Ia, Ib, Ic, IIb or IIc wherein R1 is for example C1-C5alkyl, C3-C30cycloalkyl, C1-C5haloalkyl, C2-C12alkenyl, C4- C8cycloalkenyl, C6-C12bicycloalkenyl, phenyl, naphthyl, anthracyl, phenanthryl, or is a heteroaryl radical; all of which are unsubstituted or substituted; optionally some of the substituents form 5- or 6-membered rings with further substituents on the phenyl, naphthyl, anthracyl, phenanthryl, or heteroaryl ring or with one of the carbon atoms of the phenyl, naphtyl, anthracyl, phenanthryl, or heteroaryl ring; R'1 is for example C1-C12alkylene , C3-C30cycloalkylene, phenylene, naphtylene, diphenylene, or oxydiphenylene, wherein these radicals are unsubstituted or substituted; A and B for example are a direct bond; Ar1 and Ar2 independently of each other for example are phenyl, naphtyl, anthracyl, phenanthryl, or heteroaryl, all of which are unsubstituted or are substituted; Ar3, Ar4 and Ar5 for example have one of the meanings given for Ar1 and Ar2; Y is for example C3-C3-C30cycloalkylene, phenylene, naphthylene, diphenylene, or oxydiphenylene, all of which are unsubstituted or substituted.

L'invention concerne une composition de photorésine chimiquement amplifiée comprenant (a) un composé qui durcit sous l'action d'un acide ou un composé dont la solubilité augmente sous l'action d'un acide, et (b) en tant que donneur acide photosensible, au moins un composé de formule Ia, Ib, Ic, IIb ou IIc dans lesquelles R¿1? représente par exemple un groupe C¿1?-C¿5?alkyle, C¿3?-C¿30?cycloalkyle, C¿1?-C¿5?haloalkyle, C¿2?-C¿12?alcényle, C¿4?-C¿8?cycloalcényle, C¿6?-C¿12?bicycloalcényle, phényle, naphtyle, anthracyle, phénanthryle, ou un groupe hétéroaryle, tous ces groupes étant substitués ou non, certains substituants formant éventuellement des cycles à 5 ou 6 membres avec d'autres substituants sur le cycle phényle, naphtyle, anthracyle, phénanthryle, ou hétéroaryle ou avec un des atomes de carbone du cycle phényle, naphtyle, anthracyle, phénanthryle, ou hétéroaryle, R'¿1? représente, par exemple, un groupe C¿1?-C¿12?alkylène, C¿3?-C¿30?cycloalkylène, phénylène, naphtylène, diphénylène, ou oxydiphénylène, ces groupes étant substitués ou non, A et B représentant par exemple une liaison directe, Ar¿1? et Ar¿2? représentent, de manière indépendante, par exemple, un groupe phényle, naphtyle, anthracyle, phénanthryle, ou hétéroaryle, tous ces groupes étant substitués ou non, Ar¿3?, Ar¿4? et Ar¿5? représentent, par exemple, un des groupes que peuvent représenter Ar¿1? et Ar¿2?, et Y représente, par exemple, un groupe C¿3?-C¿3?-C¿30?cycloalkylène, phénylène, naphtylène, diphénylène, ou oxydiphénylène, tous ces groupes état substitués ou non.

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