G - Physics – 01 – P
Patent
G - Physics
01
P
G01P 15/13 (2006.01) G01C 19/56 (2006.01)
Patent
CA 2687127
The invention relates to a method and a switch arrangement for operating a micromechanical capacitive sensor having at least one, and at most two, fixed electrodes (E1, E2) and one differential capacitor formed by a movable central electrode (EO) that can be deflected by an external force, wherein the deflection of said electrode (EO) is measured. The invention provides that a fraction of the force acting on the central electrode corresponding to the electrostatic restorative force be compensated. Under closed-loop operation of the sensor, the selection signal is influenced by a regulator supplementing a restore-crosstalk signal in such a manner that the created capacitive restorative force acts in a compensatory manner against the deflection of the central electrode. Two embodiments of the invention and a measure supplementing said embodiments for optimizing the control are presented.
L'invention concerne un procédé et un circuit pour faire fonctionner un capteur capacitif micromécanique qui présente au moins un condensateur différentiel composé de deux électrodes fixes (E1, E2) et d'une électrode centrale mobile (E0) pouvant être déviée par une force externe, la déviation de cette électrode centrale étant mesurée. Selon l'invention, une partie de la force agissant sur l'électrode centrale est compensée, cette partie correspondant à la force de rappel électrostatique. Lorsque le capteur fonctionne en boucle fermée, son signal de sortie est influencé par un régulateur en complément du signal de transmission de rappel de telle sorte que la force de rappel capacitive produite s'oppose de façon compensatoire à la déviation de l'électrode centrale. Deux variantes de réalisation de l'invention et cette mesure complémentaire visant à optimiser la régulation sont présentées.
Brouillette & Associes/partners
Northrop Grumman Litef Gmbh
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1474751