Optical metrology system

Details Optical metrology system Optical metrology system

G - Physics

01

B

G01B 11/02 (2006.01) G01D 5/34 (2006.01)

Patent

CA 2680015

The invention relates to a device for positioning an object relative to a reference position, characterised in that it comprises a laser (1) associated with an acoustic-optical modulator (3) for transmitting at least two parallel and modulated phase-opposed laser beams, said beams being focused on a slot (F) connected to the object to be positioned (OBJ), the larger side of the slot (F) being perpendicular to the positioning direction, and a photodiode (13) adapted for collecting the beams from the slot (F) and associated with a synchronous detection amplifier (9) for supplying a signal indicative of the slot (F) position relative to the reference position.

Dispositif de positionnement d'un objet par rapport à une position de référence, caractérisé par le fait qu' il comprend un laser (1), associé à un modulateur acousto-optique (3) pour émettre au moins deux faisceaux lasers parallèles et modulés en opposition de phase, lesdits faisceaux étant focalisés sur une fente (F) solidaire de l'objet (OBJ) à positionner, le grand coté de ladite fente (F) étant perpendiculaire à la direction de positionnement, et une photodiode (13) adaptée pour collecter les faisceaux issus de la fente (F) et associée à un amplificateur à détection synchrone (9) pour délivrer un signal traduisant la position de la fente (F) par rapport à la position de référence.

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Profile ID: LFCA-PAI-O-1752039