H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/02 (2006.01) C08J 5/12 (2006.01) G03F 1/14 (2006.01) H01L 21/469 (2006.01)
Patent
CA 2221835
One aspect of the invention comprises a method of assembling an optical pellicle including a pellicle frame and a pellicle membrane in which adhesive is first applied to the pellicle frame, and then solvent in the adhesive is permitted to evaporate. Solvent is then applied to the adhesive on the pellicle frame, and the pellicle membrane is mounted onto the adhesive on the pellicle frame. Normally the step in which solvent is permitted to evaporate involves baking the frame with the adhesive thereon at an elevated temperature. Also, it is normal that as soon as the solvent is applied to the adhesive on the pellicle frame, once the adhesive feels tacky, the pellicle membrane is mounted in place. An additional step to this process involves generation of heat in the pellicle membrane and the adhesive after the membrane is mounted to the adhesive on the pellicle frame, to further bond the membrane to the frame.
L'invention a trait à une méthode d'assemblage de pellicule optique composée d'un cadre et d'une membrane. La méthode consiste, dans un premier temps, à appliquer une substance adhésive sur le cadre et à laisser ensuite s'évaporer le solvant que contient cette substance. Un solvant est ensuite appliqué sur la substance adhésive se trouvant sur le cadre, puis la membrane est fixée sur la substance adhésive appliquée sur le cadre. Habituellement, à l'étape où on laisse s'évaporer le solvant, le cadre sur lequel est appliquée la substance adhésive est cuit à une température élevée. En outre, il est normal de mettre en place la membrane dès que le solvant est appliqué sur la substance adhésive se trouvant sur le cadre, lorsque la substance adhésive est collante. Une autre étape supplémentaire du procédé consiste à chauffer la membrane et la substance adhésive, après que la membrane est fixée à l'adhésif sur le cadre, afin que la membrane adhère mieux au cadre.
Bih Qoang Rung
Yen Yung-Tsai
Fetherstonhaugh & Co.
Micro Lithography Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1500474