G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 1/14 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
Patent
CA 2219562
An optical pellicle and package are disclosed. The optical pellicle includes a pellicle membrane and a pellicle frame with a cover side, a membrane side and an outer edge. The pellicle membrane is mounted and covers a substantial portion of the membrane side of the pellicle frame. The membrane side of the pellicle frame includes a peripheral region that extends beyond the pellicle membrane. In one embodiment of the invention, the peripheral region includes a relieved portion at the periphery of the membrane side of the pellicle frame. Another embodiment includes one of the previously described optical pellicles and a package. The package includes a first piece and a second piece. The first piece includes a structure for supporting an optical pellicle. The structure is configured to support the optical pellicle so that the pellicle membrane is free from contact with the first piece of the package. The second piece of the package is configured to mate with the first piece, thereby enclosing the optical pellicle within the package. When enclosed within the package, the pellicle is free from contact with the first and second pieces of the package. Finally, a method for assembling such a packaged pellicle is also disclosed.
Pellicule optique et emballage. La pellicule optique comporte une membrane pelliculaire et un cadre avec côté couvercle, côté membrane et bord externe. La membrane pelliculaire recouvre une partie importante du côté membrane du cadre. Le côté membrane du cadre comporte une région périphérique qui se prolonge au-delà de la membrane pelliculaire. Dans une version de l'invention, la région périphérique présente une partie dégagée à la périphérie, côté membrane du cadre. Une autre version de l'invention comporte la pellicule décrite ci-dessus ainsi qu'un emballage. L'emballage comporte une première et une deuxième parties. La première partie comporte une structure destinée à supporter la pellicule optique. La structure est configurée de manière à supporter la pellicule optique et à préserver la membrane de tout contact avec la première partie de l'emballage. La deuxième partie de l'emballage est configurée de manière à épouser la forme de la première partie, emprisonnant de ce fait la pellicule optique à l'intérieur de l'emballage. Emprisonnée à l'intérieur de l'emballage, la pellicule ne vient en contact ni avec la première, ni avec la deuxième partie de l'emballage . Une méthode pour l'assemblage d'un tel emballage est aussi divulguée.
Fetherstonhaugh & Co.
Micro Lithography Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1910804