B - Operations – Transporting – 23 – K
Patent
B - Operations, Transporting
23
K
B23K 26/00 (2006.01) B23K 26/04 (2006.01) B23K 26/06 (2006.01) H05K 3/00 (2006.01) H05K 3/46 (2006.01)
Patent
CA 2149949
An optical processing apparatus for processing optically a workpiece by using a light beam. The apparatus is capable of automatically adjusting an imaging magnification to a predetermined value and at the same time maintaining constant an imaging magnification regardless of exchange of masks and workpiece and for ensuring an extended use life of a mask with satisfactory mask function. The apparatus includes a light source system for generating a light beam for illuminating a mask having a predetermined pattern, an imaging lens for copying a pattern image of the mask onto a workpiece, a mask-moving mechanism for moving the mask in a direction perpendicular to an optical axis of the imaging lens, a workpiece-moving mechanism for moving the workpiece in a direction perpendicular to the optical axis of the imaging lens, an imaging-magnification changing mechanism for changing inter-mask/lens/workpiece distance between the mask, the imaging lens and the workpiece, and a central control unit which is comprised of an actual-imaging magnification arithmetic module for determining an actual-imaging magnification value in terms of a ratio between the copied-pattern image and a predetermined pattern, a magnification-decision module for making decision whether or not a difference between the actual-imaging magnification value and a desired-imaging magnification value is smaller than a permissible value, an optical-axis displacement control module responsive to indication that the difference exceeds a permissible value thereby to arithmetically determine on the basis of the actual and desired imaging magnification values the inter-mask/lens/workpiece distance at which the actual-imaging magnification value becomes equal to the desired imaging magnification value for controlling thereby the imaging-magnification changing mechanism so that the inter-mask/lens/workpiece distance coincides with the arithmetically-determined distance, and a displacement control module for controlling the mask-moving mechanism and the workpiece-moving mechanism.
L'invention est un appareil d'usinage de pièces utilisant un faisceau lumineux. L'appareil de l'invention peut ajuster automatiquement le grossissement d'une image jusqu'à une valeur prédéterminée et en même temps maintenir un grossissement fixe en cas de changement de masque ou de pièce à usiner afin de prolonger la durée de vie des masques tout en conservant des résultats satisfaisants. L'appareil de l'invention comprend une source lumineuse produisant un faisceau qui sert à éclairer un masque portant une configuration prédéterminée, une lentille servant à dupliquer la configuration du masque sur une pièce à usiner, un mécanisme servant à déplacer le masque dans une direction perpendiculaire à l'axe optique de la lentille, un mécanisme servant à déplacer la pièce à usiner dans une direction perpendiculaire à l'axe optique de la lentille, un mécanisme de modification du grossissement qui modifie les distances entre le masque, la lentille et la pièce à usiner, et une unité de commande centrale composée d'un module de grossissement arithmétique servant à déterminer le grossissement réel en fonction du rapport entre la configuration dupliquée et une configuration prédéterminée, un module de décision servant à déterminer si la différence entre le grossissement réel et le grossissement désiré est plus petite que la limite admissible, un module de commande de déplacement de l'axe optique qui entre en fonction quand ladite différence est supérieure à la limite admissible et détermine alors arithmétiquement, en se basant sur les grossissements réel et désiré, les distances entre le masque, la lentille et la pièce à usiner auxquelles le grossissement réel devient égal au grossissement désiré pour commander le mécanisme de modification du grossissement afin que les distances entre le masque, la lentille et la pièce à usiner coïncident avec les distances déterminées arithmétiquement, et un module de commande de déplacement servant à commander les mécanismes de déplacement du masque et de la pièce à usiner.
Izumo Masao
Matsushita Yoshifumi
Minagawa Tadao
Minamitani Yasushi
Nakatani Hajime
Marks & Clerk
Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha
LandOfFree
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