G - Physics – 01 – M
Patent
G - Physics
01
M
G01M 11/02 (2006.01) G01B 9/00 (2006.01) G01J 9/00 (2006.01)
Patent
CA 2483350
Estimating one or more optical characteristics of a Device-Under-Test (DUT). The method, includes directing an optical wavefront, generated by a source, towards a test location and generating at least one ray from the wavefront at the test location. Then for each ray at two or more measurement planes, each measurement plane transverse to the direction of travel of the wavefront and beyond the test location relative to the source at different optical path distances, measuring respective points of intersection of the ray with the measurement planes with and without the DUT at the test location. Followed by determining the transverse aberration due to the DUT for the ray at each measurement plane ; and the estimating for each measurement plane from the determined transverse aberrations the coefficients of a general transverse aberration equation, the coefficients of which are the product of a combination of optical characteristics and the optical distance between the measurement plane and the appropriate principal plane of the DUT. The optical characteristics are calculated from the estimates of the coefficients for each measurement plane and the optical distances between respective measurement planes.
Cette invention porte sur un procédé d'évaluation d'une ou plusieurs caractéristiques optiques d'un dispositif à l'essai (DUT). Ce procédé consiste à orienter un front d'onde optique généré par une source en direction d'un emplacement de test et à générer au moins un rayon du front d'onde au niveau de l'emplacement de test ; à mesurer pour chaque rayon, au niveau d'au moins deux plans de mesure, chaque plan de mesure étant transversal au sens de déplacement du front d'onde et au-delà de l'emplacement de test par rapport à la source et à différentes distances de la trajectoire optique, les points d'intersection respectifs du rayon avec les plans de mesure avec et sans le dispositif à l'essai à l'emplacement de test ; à déterminer l'aberration transversale causée par le dispositif à l'essai pour le rayon au niveau de chaque plan de mesure ; puis à effectuer l'évaluation, pour chaque plan de mesure, à partir des aberrations transversales déterminées, des coefficients d'une équation d'aberration transversale générale, lesquels coefficients sont le produit d'une combinaison de caractéristiques optiques et de la distance optique entre le plan de mesure et le plan principal approprié du dispositif à l'essai. Les caractéristiques optiques sont calculées à partir des estimations des coefficients pour chaque plan de mesure et des distances optiques entre les plans de mesures respectifs.
Ridout & Maybee Llp
The University Of Adelaide
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1754693