Optical variable attenuator and optical module

Details Optical variable attenuator and optical module Optical variable attenuator and optical module

G - Physics

02

B

G02B 26/02 (2006.01) G02B 6/26 (2006.01) G02B 6/35 (2006.01)

Patent

CA 2491414

An optical variable attenuator (1) comprises a planar waveguide (2) including an optical waveguide (3) where an input optical path (A) and an output optical path (B). A cantilevered beam (6) is provided on the flat waveguide (2). A movable mirror (8) for reflecting light passing through the input optical path (A) toward the output optical path (B) is fixed to the end of the cantilevered beam (6). An electrode (9) is provided on the planar waveguide (2) and connected to the cantilevered beam (6) through a voltage source (11). The end portion of the cantilevered beam (6) is bent toward the electrode (9) by applying a voltage generated by the voltage source (11) between the cantilevered beam (6) and the electrode (9) and producing an electrostatic force between the cantilevered beam (6) and the electrode (9), thereby providing an optical variable attenuator where the movable mirror (8) is moved toward the electrode (9).

L'invention concerne un atténuateur optique variable (1) pourvu d'un guide d'onde planaire (2) comprenant un guide d'onde optique (2) avec une trajectoire optique d'entrée (A) et une trajectoire optique de sortie (B). Un faisceau (6) en porte-à-faux est situé sur le guide d'onde planaire (2). Un miroir amovible (8) réfléchissant la lumière passant à travers la trajectoire optique d'entrée (A) vers la trajectoire optique de sortie (B) est fixé à l'extrémité du faisceau (6) en porte-à-faux. Une électrode (9) est située sur le guide d'onde planaire (2) et connectée au faisceau (6) en porte-à-faux par une source (11) de tension. La partie d'extrémité du faisceau (6) en porte-à-faux est inclinée vers l'électrode (9) par application d'une tension générée par la source (11) de tension entre le faisceau (6) en porte-à-faux et l'électrode (9), et par génération d'une force électrostatique entre le faisceau (6) en porte-à-faux et l'électrode (9), permettant ainsi d'obtenir un atténuateur optique variable dans lequel le miroir amovible (8) est déplacé vers l'électrode (9).

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