G - Physics – 03 – C
Patent
G - Physics
03
C
G03C 1/76 (2006.01) G03C 1/492 (2006.01) G03C 1/494 (2006.01) G03F 7/00 (2006.01) G03F 7/09 (2006.01) G11B 7/24 (2006.01)
Patent
CA 2400157
An improved method for applying organic antireflective coatings to substrate surfaces and the resulting precursor structures are provided. Broadly, the methods comprise chemical vapor depositing (CVD) an antireflective compound on the substrate surface. In one embodiment, the compound is highly strained (e.g., having a strain energy of at least about 10 kcal/mol) and comprises two cyclic moieties joined to one another via a linkage group. The most preferred monomers are [2.2](1,4)-naphthalenophane and [2.2](9,10)-anthracenophane. The CVD processes comprise heating the antireflective compound so as to vaporize it, and then pyrolizing the vaporized compound to form stable diradicals which are subsequently polymerized on a substrate surface in a deposition chamber. The inventive methods are useful for providing highly conformal antireflective coatings on large substrate surfaces having super submicron (0.25µm or smaller) features.
L'invention porte sur un procédé amélioré de dépôt d'un revêtement organique antireflets sur la surface d'un substrat, et sur la structure précurseur résultante. Le procédé consiste grosso modo à déposer par DCPV un composé antireflets sur la surface du substrat. Dans une exécution, le composé est fortement contraint c.-à-d. qu'il présente une énergie de contrainte d'au moins 10kcal/mole et comprend deux fragments cycliques reliés par l'intermédiaire d'un groupe de liaison. Les monomères préférés sont le [2.2](1,4)-naphthalénophane et le [2.2](9,10)-anthracénophane. Le procédé DCPV consiste à réchauffer le composé antireflets jusqu'à sa vaporisation puis à pyrolyser le composé vaporisé pour former des radicaux doubles stables qui se polymérisent ensuite sur la surface du substrat dans la chambre de dépôt. Ledit procédé permet d'obtenir sur de grands substrats des revêtements antireflets très réguliers de 0,25 µm d'épaisseur ou moins.
Brewer Terry
Guerrero Douglas
Sabnis Ram W.
Spencer Mary J.
Brewer Science Inc.
Gowling Lafleur Henderson Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1721445