C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 14/34 (2006.01) H01J 37/34 (2006.01)
Patent
CA 2593063
The present invention relates to an oscillating shielded cylindrical target assembly comprising a cylindrical target, a motor assembly adapted to oscillate the cylindrical target, a shield, and a magnet assembly. Embodiments of the present invention also include a cylindrical target that has an outer surface containing a plurality of divided sections; the sections being disposed lengthwise around the target to form strips running lengthwise across the target. Each section includes a single sputtering material, such as silver, titanium, or niobium, that is intended to be applied as a separate coating on a substrate, such as glass.
La présente invention porte sur un ensemble cible cylindrique blindée oscillante comprenant une cible cylindrique, un ensemble moteur conçu pour faire osciller la cible cylindrique, un écran et un ensemble aimant. Des modes de réalisation de cette invention comprennent également une cible cylindrique comportant une surface extérieure contenant une pluralité de sections divisées, les sections étant disposées dans le sens de la longueur autour de la cible de façon qu'elles forment des bandes s'étendant dans le sens de la longueur sur la cible. Chaque section comprend un seul matériau de pulvérisation, tel que de l'argent, du titane ou du niobium, qui est destiné à être appliqué sous la forme d'un revêtement séparé sur un substrat tel que du verre.
Borden Ladner Gervais Llp
Cardinal Cg Company
LandOfFree
Oscillating shielded cylindrical target assemblies and their... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Oscillating shielded cylindrical target assemblies and their..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Oscillating shielded cylindrical target assemblies and their... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1524144