Outgassing method for inspecting a coated surface

G - Physics – 01 – N

Patent

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G01N 21/954 (2006.01) A61J 1/05 (2006.01) G01N 21/90 (2006.01) G01N 21/952 (2006.01)

Patent

CA 2761905

A method for inspecting the product of a coating process is provided. Therein, the release of at least one volatile species from the coated surface into the gas space adjacent to the coated surface is measured and the result is compared with the result for at least one reference object measured under the same test conditions. Thus the presence or absence of the coating, and/or a physical and/or chemical property of the coating can be determined. The method is useful for inspecting any coated articles, e.g. vessels. Its application on the inspection of PECVD coatings made from organosilicon precursors, especially of barrier coatings, is also disclosed.

La présente invention concerne un procédé d'inspection du produit issu d'un processus de revêtement. Dans ce procédé, on mesure la libération d'au moins une espèce volatile depuis la surface revêtue dans l'espace pour le gaz adjacent à la surface revêtue et on compare le résultat au résultat obtenu pour au moins un objet de référence mesuré dans les mêmes conditions de test. Ainsi, la présence ou l'absence du revêtement et/ou la propriété chimique et/ou physique du revêtement peut/peuvent être déterminée(s). Le procédé est utile pour inspecter n'importe quel article revêtu, par exemple des contenants. Cette invention porte également sur l'utilisation de ce procédé pour inspecter des revêtements PECVD formés à partir de précurseurs à l'organosilicium, spécifiquement des revêtements barrière.

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