Packaged strain actuator

H - Electricity – 01 – L

Patent

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Details

H01L 41/09 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)

Patent

CA 2363949

A modular actuator assembly includes one or more plates or elements of electro- active material bonded to an electroded sheet, preferably by a structural polymer to form a card. The card is sealed, and may itself constitute a practical device, such as a vane, shaker, stirrer, lever, pusher or sonicator for direct contact with a solid or immersion in a fluid, or may be bonded by a stiff adhesive to make a surface-to-surface mechanical coupling with a solid workpiece, device, substrate machine or sample. The structural polymer provides a bending stiffness such that the thin plate does not deform to its breading point, and a mechanical stiffness such that shear forces are efficiently coupled from the plate to the workpiece. In further embodiments, the card may include active circuit elements for switching, powering or processing signals, and/or passive circuit elements for filtering, matching or damping signals, so that few or no connection to outside circuitry are required. The actuator assembly can be manufactured in quantity, to provide a versatile actuator with uniform mechanical and actuation characteristics, that introduces negligible mass loading to the workpiece. The cards themselves may be arranged as independent mechanical actuators, rather than strain-transfer actuators, in which the induced strain changes the position of the card. Various arrangements of pinned or cantilevered cards may act as a pusher, bender or other motive actuator, and structures such as powered bellows may be formed directly by folding one or more suitably patterned cards.

L'invention concerne un ensemble actionneur modulaire comprenant une ou plusieurs plaques ou éléments faits d'une matière électroactive fixés à une feuille à électrode, de préférence par un polymère structurel, pour former une carte. La carte est scellée et peut constituer en soi un dispositif pratique, par exemple une palette, un secoueur, un mélangeur, un levier, un élément poussoir ou un élément ultrasonique permettant un contact direct avec un solide ou l'immersion dans un fluide. Elle peut également être fixée par un adhésif rigide constituant ainsi un couplage mécanique de surface à surface avec une pièce solide, un dispositif, une machine ou échantillon de substrat. Le polymère structurel confère une résistance à la flexion permettant à la plaque mince de ne pas se déformer en son point de montage, et une rigidité mécanique permettant que les forces de cisaillement soient efficacement couplées de la plaque à la pièce. Dans d'autres modes de réalisation, la carte peut inclure des éléments de circuit actifs servant à commuter, à alimenter ou à traiter des signaux, et/ou des éléments de circuit passifs servant à filtrer, à mettre en correspondance ou à amortir des signaux, de manière à rendre nécessaires peu de connexions à un circuit extérieur, voire aucune. L'ensemble actionneur peut être fabriqué en quantité, fournissant un actionneur à usages multiples aux caractéristiques mécaniques et d'activation uniformes, qui introduit une charge de masse négligeable pour la pièce. Les cartes elles-mêmes peuvent constituer des actionneurs mécaniques indépendants, plutôt que des actionneurs de transfert d'extension, dans lesquels l'extension mécanique induite change la position de la carte. Diverses configurations de cartes à broche ou enfichables peuvent servir d'élément poussoir, d'élément de flexion, ou d'autres types d'actionneurs moteurs, et des structures telles que des manchons de dilatation alimentés peuvent être formées directement en pliant une ou plusieurs cartes à motifs adaptés.

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