G - Physics – 01 – J
Patent
G - Physics
01
J
G01J 4/00 (2006.01) G01J 3/447 (2006.01) G01J 4/04 (2006.01) G01N 21/21 (2006.01)
Patent
CA 2380492
The parallel detecting spectroscopic ellipsometer/polarimeter sensor (10) has no moving parts and operates in real-time for <i>in-situ</i> monitoring of the thin film surface properties of a sample (22) within a processing chamber. It includes a multi-spectral source of radiation (12) for producing a collimated beam of radiation (14) directed towards the surface of the sample through a polarizer (16). The thus polarized collimated beam of radiation impacts and is reflected from the surface of the sample (22), thereby changing its polarization state due to the intrinsic material properties of the sample (22). The light reflected from the sample (22) is separated into four separate polarized filtered beams (36, 38, 58, 62), each having individual spectral intensities. Data about said four individual spectral intensities is collected within the processing chamber, and is transmitted into one or more spectrometers. The data of all four individual spectral intensities is then analyzed using transformation algorithms, in real-time.
L'invention concerne un capteur (10) de polarimètre/ellipsomètre à détection parallèle ne comportant aucun élément mobile et fonctionnant en temps réel destiné à la surveillance <i>in-situ</i> des caractéristiques de la surface du film mince d'un échantillon (22) à l'intérieur d'une chambre de traitement. Ce capteur comprend une source de rayonnement (12) à spectres multiples permettant de produire un faisceau de rayonnement (14) collimaté dirigé vers la surface de l'échantillon à travers un polariseur (16). Le faisceau de rayonnement ainsi collimaté vient s'écraser sur la surface dudit échantillon (22) et il est réfléchi par elle, modifiant de ce fait son état de polarisation en raison des caractéristiques intrinsèques de la matière de l'échantillon. La lumière réfléchie par l'échantillon (22) est divisée en quatre faisceaux filtrés polarisés (36, 38, 58, 62), chacun de ces faisceaux présentant des intensités spectrales propres. Les données relatives à ces quatre intensités spectrales sont dans la chambre de traitement, puis elles sont transmises à un ou plusieurs spectromètres. Les données relatives à l'ensemble de ces quatre intensités spectrales sont alors analysées à l'aide d'algorithmes de transformation, en temps réel.
Colorado School Of Mines
Finlayson & Singlehurst
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1702806