G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 7/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
Patent
CA 2454963
A microfabricated probe array (32, 100) for nanolithography and process for designing and fabricating the probe array. The probe array (32, 100) consists of individual probes (35, 54, 72, 104) that can be moved independently using thermal bimetallic actuation or electrostatic actuation methods. The probe array (32, 100) can be used to produce traces of diffusively transferred chemicals (26) on a substrate (24) with sub-1 micrometer resolution, and can function as an arrayed scanning probe microscope for subsequent reading and variation of transferred patterns.
L'invention concerne un réseau de sondes microfabriquées (32,100) destiné à la nanolitographie, ainsi qu'un procédé pour concevoir et fabriquer ce réseau de sondes. Ce réseau de sondes consiste en des sondes individuelles (38, 54, 72, 104) qui peuvent être déplacées de façon indépendante à l'aide de procédés d'activation bimétallique thermique ou d'activation électrostatique. Ce réseau de sondes peut être utilisé pour produire des traces de produits chimiques (26) transférés par diffusion sur un substrat (24) avec une résolution inférieure à 1 micromètre, et peut fonctionner en tant que microscope-sonde de balayage en réseau pour lecture et modification ultérieures de motifs transférés.
Bullen David Andrew
Liu Chang
Zhang Ming
Bereskin & Parr Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
The Board Of Trustees Of The University Of Illinois
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1480545