G - Physics
03
F
G03F 1/14 (2006.01)
Patent
CA 2243501
A pellicle which exhibits an excellent retaining performance of immobilizing extraneous matter such as dust floating in the space enclosed with the pellicle and a mask, and which has on the inner side of a pellicle frame an adhesive layer having a resistance to short wavelength light, such as excimer light. This pellicle has a pellicle frame, a pellicle film formed on one side of the pellicle frame, and an adhesive layer formed on the inner side of the pellicle frame and containing a greaselike fluorocarbon resin.
La présente invention concerne une membrane particulièrement apte à retenir et bloquer des corps étrangers, et notamment des poussières flottant dans l'espace délimité par la membrane et un cache. Cette membrane comporte en outre, sur le côté intérieur de son châssis, une couche adhésive arrêtant les lumières de courtes longueurs d'ondes, telles que la lumière dégagée par un excimère. Cette membrane se compose d'un châssis, d'une pellicule membranaire sur une face du châssis, et d'une couche adhésive sur la face intérieure du châssis. Cette couche adhésive contient une résine fluorocarbonée de type graisseux.
Mitsui Chemicals Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1807151