G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 1/14 (2006.01)
Patent
CA 2251638
A pellicle membrane excellent in transmittance for ultraviolet rays of 200 nm or shorter in wavelength, light resistance (endurance) and membrane strength; and a pellicle. The pellicle membrane is made from such an organic polymer as to give a film satisfying the relationship: A/d1.0 [%/µm] wherein d is the thickness [µm] of the film and A is the average absorbance [%] thereof in the wavelength region of the light source of exposure, and is suitable for ultraviolet rays of 140 to 200 nm is wavelength. The thickness of the membrane is desirably 0.1 to 10 µm. The material of the pellicle membrane is specifically a silicone polymer having a siloxane backbone, desirably one having a fluorinated branch. Also a fluororesin solely consisting of carbon and fluorine is favorably used as the material of the membrane. The pellicle is characterized by having the above pellicle membrane.
L'invention concerne une membrane pelliculaire présentant une excellente transmission des rayons ultraviolets d'une longueur d'onde inférieure ou égale à 200 nm, une excellente résistance à la lumière (endurance) et une très grande robustesse. L'invention concerne également une pellicule. Cette membrane pelliculaire est réalisée à partir d'un polymère organique permettant de donner un film satisfaisant à la relation suivante: A/d?1,0 [%/µm], dans laquelle d représente l'épaisseur [µm] du film et A l'absorbance moyenne [%] dudit film dans la gamme de longueurs d'onde de la source lumineuse d'exposition, ledit film étant approprié à des rayons ultraviolets d'une longueur d'onde comprise entre 140 et 200 nm. L'épaisseur de la membrane est de préférence comprise entre 0,1 et 10 µm. La matériau de la membrane pelliculaire est de façon spécifique un polymère de silicone présentant un squelette siloxane, de préférence comportant une ramification fluorée. Une résine fluorée constituée uniquement de carbone et de fluor est également employée de préférence comme matériau pour la membrane. La pellicule est caractérisée en ce qu'elle présente ladite membrane pelliculaire.
Nakagawa Hiroaki
Shigematsu Shigeto
Mitsui Chemicals Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1652396