G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 9/02 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01) G01B 11/255 (2006.01) G01M 11/02 (2006.01)
Patent
CA 2206212
An interferometer system in which a linearly polarized beam (10) from a light source (12) passes through a density filter (14). The beam (10) then passes through a half-wave retardation plate (16) which produces two orthogonally polarized beams. The angular orientation of the half-wave retardation plate (16) is used to adjust the relative intensity between the vertical and horizontal components of polarization. The polarized beams are then split by a polarization beamsplitter (22). The transmitted beam (20) is then reflected by a fixed retroreflector (24) back through the polarization beamsplitter (22) to a turning mirror (26). The reflected beam (18) is reflected, by a retroreflector (28), mounted on a piezoelectric translator (30) back through the beamsplitter (22) to the same mirror so that it is parallel to the other beam but laterally displaced from it. It diverges and is coincident with the reference beam (48) which was diffracted by the aperture (42). The measurement beam (46) and the reference beam (48) interfere to produce a fringe pattern that represents a contour map of optical path difference between the wavefront from the optic (50) and a perfect spherical wavefront.
Dans un système interférométrique, un faisceau à polarisation linéaire (10) émis par une source de lumière (12) traverse un filtre de densité (14), puis une lame demi-onde de retardement (16) qui produit deux faisceaux polarisés orthogonaux. L'orientation angulaire de la lame demi-onde de retardement (16) sert à ajuster l'intensité relative entre les composantes verticale et horizontale de polarisation. Les faisceaux polarisés sont ensuite divisés par un diviseur polarisant de faisceaux (22). Le faisceau (20) ainsi transmis est alors réfléchi par un rétroréflecteur fixe (24) et renvoyé à travers le diviseur polarisant de faisceaux (22) à un miroir rotatif (26). Le faisceau réfléchi (18) est de nouveau réfléchi par un rétroréflecteur (28) monté sur un dispositif piézo-électrique de déplacement (30) et renvoyé à travers le diviseur de faisceaux (22) au même miroir, de sorte que le faisceau réfléchi (18) soit parallèle à l'autre faisceau mais latéralement décalé par rapport à celui-ci. Il diverge du faisceau de référence (48) diffracté par l'ouverture (42) et coïncide avec celui-ci. Le faisceau de mesure (46) et le faisceau de référence (48) interfèrent l'un avec l'autre, pour produire un diagramme de franges qui représente le tracé contenu de la différence de trajet optique entre le front d'onde en provenance de l'élément optique (50) et un front d'onde parfaitement sphérique.
Marks & Clerk
The Regents Of The University Of California
LandOfFree
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