Piezoelectric micropump

Details Piezoelectric micropump Piezoelectric micropump

F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons

04

B

F04B 43/04 (2006.01)

Patent

CA 2356342

A piezoelectric micropump (10) is disclosed for pumping fluid from a container (14) to a delivery point in low volumes and at controlled flow rates. The pumping action is created by movement of two or three diaphragms (40, 42, 44). The movement of each diaphragm is caused by expansion and contraction of an attached piezoelectric actuator (46, 48, 50). Coordination of the movement of the diaphragms (40, 42, 44) creates unidirectional flow of the fluid. The piezoelectric actuators (46, 48, 50) are cantilevered between the pump body (22) and the diaphragms (40, 42, 44) to provide greater deflection of the diaphragms (40, 42, 44). The piezoelectric actuators (46, 48, 50) preferably are piezoelectric bimorphs such that the diaphragms (40, 42, 44) can function as both seals and pumps.

L'invention concerne une micropompe piézo-électrique (10) prévue pour pomper un fluide à partir d'un récipient (10) jusqu'à un point de distribution en faibles volumes et selon des débits contrôlés. L'action de pompage est créée par le mouvement de deux ou trois diaphragmes (40, 42, 44). Le mouvement de chaque diaphragme est provoqué par la dilatation et la contraction d'un organe de commande piézo-électrique relié (46, 48, 50). La coordination du mouvement des diaphragmes (40, 42, 44) crée un écoulement unidirectionnel du fluide. Les organes de commande piézo-électriques (46, 48, 50) sont placés en porte-à-faux entre le corps de la pompe (22) et les diaphragmes (40, 42, 44) pour assurer une déflexion supérieure de ces derniers. Les organes de commande (46, 48, 50) sont de préférence des cristaux bimorphes piézo-électriques de telle sorte que les diaphragmes (40, 42, 44) peuvent servir tant de joints d'étanchéité que de pompes.

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