Planar thermal array

Details Planar thermal array Planar thermal array

H - Electricity

01

L

H01L 31/09 (2006.01) G01J 5/20 (2006.01) H01L 27/146 (2006.01)

Patent

CA 2534190

A thermal sensor structure having one level for an infrared detecting pixel including the sensor associated electronics. The electronics displace a small area thereby having little effect on the fill area of the pixel relative to a level having no pixel electronics. That level has thermally isolation for the substrate through the limited structural attachment to the substrate because of the access vias to the silicon. It has additional isolation because of a pit of removed silicon from the substrate below that one level. The thermal sensor may have an array with a large number of pixels having the one level for the pixels and electronics structure.

L'invention concerne une structure de détecteur thermique qui possède un niveau destiné à un pixel de détection infrarouge comprenant les composants électroniques associés au détecteur. Les composants électroniques occupent une surface réduite, l'effet produit sur la surface de remplissage du pixel étant ainsi minime par rapport à un niveau ne comprenant pas de composants électroniques de pixel. L'isolation thermique de ce niveau pour le substrat est assurée par la liaison structurale limitée au substrat en raison de trous d'interconnexion d'accès au silicium. Une isolation supplémentaire est assurée en raison d'une cavité de silicium éliminé à partir du substrat au-dessous dudit niveau. Le capteur thermique peut comprendre un réseau comportant un grand nombre de pixels qui possède ledit niveau pour les pixels et la structure de composants électroniques.

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