H - Electricity – 05 – H
Patent
H - Electricity
05
H
H05H 1/24 (2006.01) B01J 19/08 (2006.01) C08J 7/00 (2006.01)
Patent
CA 2547206
A plasma discharger in which a uniform energy distribution can be obtained over a wide range even for a rotating disc-like workpiece. In a plasma discharger where corona discharge is generated between a pair of rod-like discharge electrodes (6, 7) by applying a pulse voltage between them and the surface of a workpiece (W) is irradiated with an exciting species containing plasma generated by corona discharge, the pair of discharge electrodes (6, 7) are formed asymmetrically and one discharge electrode (6) is formed into substantially doglegged-shape. Pointed end part (6a) of the discharge electrode (6) is located at the outer circumferential part of the disc-like workpiece (W) being processed while being rotated. The bent base end part of the other discharge electrode (7) formed into substantially V-shape is located at the central part of rotation of the disc-like workpiece (W) being processed while being rotated. The pointed end part (6a) of one discharge electrode (6) and the pointed end part (7a) of the other discharge electrode (7) are located at different phase heights on the axis along the ejecting direction of plasma.
L'invention pore sur un dispositif de décharge du plasma dans lequel il est possible d'obtenir une distribution uniforme de l'énergie sur une large plage même pour une pièce de type disque rotatif. Dans un dispositif de décharge du plasma où une décharge corona est générée entre une paire d'électrodes de décharge de type tiges (6, 7) par application d'une tension impulsionnelle entre les électrodes et la surface d'une pièce (W) qui est irradiée par une espèce excitante contenant le plasma généré par la décharge corona, la paire d'électrodes de décharge (6, 7) est formée de manière asymétrique et une électrode de décharge (6) est formée sensiblement en zigzag. Une extrémité pointue (6a) de l'électrode de décharge (6) est située au niveau de la partie circonférentielle externe de la pièce de type disque (W) en cours de traitement et en rotation. L'extrémité de base coudée de l'autre électrode de décharge (7) en forme de V est située au niveau de la partie centrale de rotation de la pièce de type disque (W) en cours de traitement et en rotation. L'extrémité pointue (6a) d'une électrode de décharge (6) et l'extrémité pointue (7a) de l'autre électrode de décharge (7) sont situées à des hauteurs de phase différente sur l'axe dans le sens d'éjection du plasma.
Miyoshi Terukazu
Saeki Noboru
Bbk Bio Corporation
Fetherstonhaugh & Co.
Pearl Kogyo Co. Ltd.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1554864