Plasma enhanced chemical deposition with low vapor pressure...

C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C

Patent

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C23C 16/44 (2006.01) B05D 7/24 (2006.01) C23C 16/448 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01)

Patent

CA 2303260

Generally, the apparatus of the present invention is (a) a flash evaporation housing (116) with a monomer atomizer (120) for making monomer particles (122), heated evaporation surface (124) for making an evaporate from the monomer particles, and an evaporate outlet (128), connected to (b) a glow discharge electrode (204) creating a glow discharge plasma from the evaporate, wherein (c) the substrate (104) is proximate the glow discharge plasma for receiving and cryocondensing the glow discharge plasma thereon. The method of the present invention has the steps of (a) flash evaporating a liquid monomer an evaporate outlet forming an evaporate; (b) passing the evaporate to a glow discharge electrode creating a glow discharge monomer plasma from the evaporate; and (c) cryocondensing the glow discharge monomer plasma on a substrate and cross-linking the glow discharge plasma thereon, wherein the cross-linking results from radicals created in the glow discharge plasma and achieves self curing.

D'une façon générale, l'appareil de cette invention se présente comme suit: (a) un boîtier d'évaporation éclair (116) muni d'un pulvérisateur de monomères (120) destiné à produire des particules de monomère (122), une surface d'évaporation chauffée (124) servant à créer une évaporite à partir des particules de monomère, et une sortie (128) pour évaporite; cette dernière est reliée à (b) une électrode (204) à décharge lumineuse qui crée un plasma à décharge lumineuse à partir de l'évaporite, le substrat (104) (c) étant disposé près du plasma à décharge lumineuse et servant à recevoir et à condenser par le froid le plasma à décharge lumineuse à sa surface. Le procédé de la présente invention consiste en ce qui suit: (a) effectuer une évaporation éclair d'un monomère liquide dans une sortie pour évaporite afin d'obtenir une évaporite; (b) acheminer l'évaporite vers l'électrode à décharge lumineuse pour créer un plasma de monomère à décharge lumineuse à partir de l'évaporite et; (c) condenser par le froid le plasma de monomère à décharge lumineuse sur un substrat et réticuler à sa surface le plasma à décharge lumineuse. La réticulation, qui est due aux radicaux créés dans le plasma à décharge lumineuse, achève l'autopolymérisation.

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