H - Electricity – 05 – H
Patent
H - Electricity
05
H
H05H 1/24 (2006.01)
Patent
CA 2513327
A plasma glow discharge and/or dielectric barrier discharge generating assembly (1) comprising at least one pair of substantially equidistant spaced apart electrodes (2), the spacing between the electrodes being adapted to form a plasma zone (8) upon the introduction of a process gas and enabling passage, where required, of gaseous, liquid and/or solid precursor(s) characterized in that at least one of the electrodes (2) comprises a housing (20) having an inner (5) and outer (6) wall, wherein the inner wall (5) is formed from a non- porous dielectric material, and which housing (20) substantially retains an at least substantially non-metallic electrically conductive material.
L'invention concerne un ensemble (1) de production de décharge luminescente de plasma et/ou de décharge à barrière diélectrique, qui comprend au moins une paire d'électrodes séparées sensiblement à égale distance par rapport à un espacement, cet espacement entre les électrodes étant conçu pour que soit formée une zone de plasma après introduction d'un gaz de traitement et établissement d'un passage, à l'endroit nécessaire, de précurseur(s) gazeux, liquide(s) et/ou solide(s). Cet ensemble est caractérisé en ce qu'au moins une des électrodes (2) comprend un logement (20) présentant une paroi intérieure (5) et extérieure (6), la paroi intérieure (5) étant formée à partir d'un matériau diélectrique non poreux; et en ce que le logement (20) retient sensiblement un matériau électroconducteur au moins sensiblement non métallique.
Dobbyn Peter
Swallow Frank
Bereskin & Parr Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
Dow Corning Ireland Limited
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1915808