H - Electricity – 05 – H
Patent
H - Electricity
05
H
H05H 1/46 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01)
Patent
CA 2574114
The present invention provides microwave plasma nozzle array systems (10, 70, 230, and 310) and methods for configuring microwave plasma nozzle arrays (37, 99, and 337). The microwaves are transmitted to a microwave cavity (323) in a specific manner and form an interference pattern (66) that includes high- energy regions (69) within the microwave cavity (32). The high-energy regions (69) are controlled by the phases and the wavelengths of the microwaves. A plurality of nozzle elements (36) is provided in the array (37). Each of the nozzle elements (36) has a portion (116) partially disposed in the microwave cavity (32) and receives a gas for passing therethrough. The nozzle elements (36) receive microwave energy from one of the high-energy regions (69). Each of the nozzle elements (36) includes a rod-shaped conductor (114) having a tip (117) that focuses on the microwaves and a plasma (38) is then generated using the received gas.
L'invention porte sur des réseaux de buses de plasma à micro-ondes (10, 70, 230, et 310) et sur des procédés de configuration de réseaux de buses de plasma à micro-ondes (37, 99, et 337). Ces micro-ondes sont transmises à une cavité à micro-ondes (323) de manière spécifique et forment un motif d'interférence (66) comprenant des zones à énergie élevée (69) dans la cavité à micro-ondes (32). Les zones à énergie élevée (69) sont contrôlées par les phases et les longueurs d'ondes des micro-ondes. Une pluralité d'éléments de buse (36) est disposée dans le réseau (37). Chaque élément de buse (36) possède une partie (116) partiellement disposée dans la cavité à micro-ondes (32) et reçoit un gaz afin de passer à travers. Les éléments de buse (36) reçoivent de l'énergie à micro-ondes à partir d'une des zones à énergie élevée (69). Chaque élément de buse (36) comprend un conducteur en forme de tige (114) pourvu d'une pointe (117) qui focalise les micro-ondes et un plasma (38) est ensuite généré au moyen du gaz reçu.
Kim Jay Joongsoo
Lee Sang Hun
Amarante Technologies Inc.
Noritsu Koki Co. Ltd.
Riches Mckenzie & Herbert Llp
Saian Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2043859