H - Electricity – 05 – H
Patent
H - Electricity
05
H
H05H 1/24 (2006.01) B01J 19/08 (2006.01) C08J 7/00 (2006.01)
Patent
CA 2554976
Plasma processing method and system in which the irradiation quantity and irradiation area of an exciting species can be enlarged for the surface of an article to be processed, and the entire surface can be irradiated uniformly while enhancing the processing performance and efficiency significantly by suppressing loss of effective exciting species. Corona discharge is generated between the pointed end parts of discharge electrodes (4) disposed oppositely by applying a pulse voltage between them, and the surface of the article is processed by irradiating with an exciting species containing plasma generated by the corona discharge. A plurality of discharge units (13) each having a first electrode (11) and a second electrode (12) disposed oppositely are provided. One of the secondary-side terminals of a transformer (15) is connected with the first electrodes (11) of the plurality of discharge units (13) and the other of the secondary terminals of the transformer (15) is connected with the second electrodes (12) of the plurality of discharge units (13) through rectifiers so that corona discharge is generated alternately from the plurality of discharge units (13).
Procédé et système de traitement plasma dans lesquels la quantité d~irradiation et la zone d~irradiation d~un élément excitateur pouvant être agrandis pour la surface d~un article à traiter, et toute la surface peut être irradiée uniformément tout en améliorant les performances et l~efficacité de traitement de manière non négligeable en supprimant la perte d~éléments excitateurs efficaces. La décharge de corona est générée entre les parties d~extrémité pointues des électrodes de décharge (4) opposées l~une à l~autre en appliquant une tension d~impulsions entre celles-ci, et la surface de l~article est traitée par irradiation avec un élément excitateur contenant du plasma généré par la décharge corona. Une pluralité d~unités de décharge (13) chacune ayant une première électrode (11) et une seconde électrode (12) opposée l~une à l~autre sont prévues. L~une des bornes côté secondaire d~un transformateur (15) est connectée aux premières électrodes (11) de la pluralité d~unités de décharge (13) et l~autre des bornes secondaires du transformateur (15) est connectée aux secondes électrodes (12) de la pluralité d~unités de décharge (13) à travers des redresseurs de sorte que la décharge de corona soit générée de manière alternée par la pluralité d~unités de décharge (13).
Fetherstonhaugh & Co.
Pearl Kogyo Co. Ltd.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1600332