H - Electricity – 02 – N
Patent
H - Electricity
02
N
H02N 1/00 (2006.01) F15C 5/00 (2006.01)
Patent
CA 2357049
A microactuator array device, which includes a plurality of generally parallel thin flexible polymer sheets bonded together in a predetermined pattern to form an array of unit cells on at least one layer. Thin conductive and dielectric films are deposited on the sheets to form a plurality of electrodes associated with the array of unit cells. A source of electric potential operably connects the electrodes, whereby electrostatic forces are generated most intensely proximate the point where the gap between the sheets is smallest. Inlets and outlets for each cell permit displacement of fluid during generation of the electrostatic forces. In a preferred embodiment, the plurality of sheets forms a stack of layers of arrays of unit cells. The layers are configured such that bi-directional activation is caused by pairs of actuators working opposite each other. At least one of every pair of the sheets may be preformed into corrugations or into flaps to provide a predetermined mechanical bias between the pairs, or the sheets may form curved portions by an applied load to provide a displacement between the pairs. The sheets are preferably from about 1 µm to about 100 µm thick and the cells preferably have an individual displacement of from about µm to about 200 µm.
Dispositif constitué par un groupement d'éléments de commande faiblement dimensionnés comprenant une pluralité de feuilles polymères minces souples généralement parallèles adhérant les unes aux autres selon une configuration prédéterminée, de manière à former un ensemble de cellules unitaires sur au moins une couche. Des pellicules minces conductrices diélectriques sont déposées sur les feuilles, de façon à constituer une pluralité d'électrodes associées au groupement de cellules unitaires. Une source de potentiel électrique relie les électrodes, ce qui permet de générer des forces électrostatiques plus intenses à proximité du point de l'écartement le plus limité entre les feuilles. Des entrées et des sorties de chaque cellule permettent à un liquide de se déplacer pendant la génération des forces électrostatiques. Dans un mode de réalisation préféré, la pluralité de feuilles produit une pile de couches de groupements de cellules unitaires. La configuration de ces couches se présente de telle sorte que l'excitation bidirectionnelle est provoquée par des paires d'éléments de commande fonctionnant les unes en face des autres. Au moins une de chaque paire de feuilles peut comporter des ondulations ou des rabats élaborés au préalable, de manière à produire une sollicitation mécanique prédéterminée entre les paires, ou des parties de ces feuilles peuvent prendre des formes incurvées sous l'effet de l'application d'une charge afin de produire un déplacement entre les paires. L'épaisseur des feuilles est, de préférence, située entre 1 mu m et 100 mu m et le déplacement individuel des cellules s'effectue, de préférence, entre 5 mu m et 200 mu m.
Cabuz Cleopatra
Herb William R.
Horning Robert D.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Honeywell Inc.
Honeywell International Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1777253