H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/316 (2006.01) H01L 21/312 (2006.01) H01L 21/318 (2006.01) H01L 21/768 (2006.01) H01L 23/498 (2006.01) H01L 23/522 (2006.01) H01L 23/532 (2006.01)
Patent
CA 2334026
A method of forming a porous insulating composition comprising the steps of (A) providing at least one organic sacrificial material/dielectric material composition comprising at least one organic sacrificial material and at least one dielectric material; and (B) removing the at least one organic sacrificial material in the at least one organic sacrificial material/dielectric material composition, in order to generate pores in the at least one dielectric material. Also disclosed is a composition useful in making a porous insulator, comprising a heat-activated, pore-forming, sacrificial material; and a dielectric material. Alternatively, the composition useful in making a porous insulator, comprises at least one pore-forming, organic sacrificial material; ant at least one dielectric material, wherein the at least one pore-forming, material is a norbornene-type polymer.
L'invention concerne un procédé permettant de fabriquer une composition isolante poreuse, consistant (A) à fournir au moins une composition de matériau organique sacrificiel/ matériau diélectrique, comprenant au moins un matériau organique sacrificiel et au moins un matériau diélectrique; (b) à retirer le matériau organique sacrificiel de la composition de matériau organique sacrificiel/matériau diélectrique, de façon à produire des pores dans le matériau diélectrique. L'invention concerne également une composition utilisée pour fabriquer un isolateur poreux, comprenant un matériau sacrificiel formant des pores, activé par la chaleur, et un matériau diélectrique. Selon un autre mode de réalisation, la composition est utilisée pour fabriquer un isolateur poreux, comprenant au moins un matériau sacrificiel organique formant des pores, et au moins un matériau diélectrique, le matériau formant les pores étant un polymère de type norbornène.
Georgia Tech Research Corporation
Ogilvy Renault Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1506452