H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 3/02 (2006.01) H01J 9/18 (2006.01) H01J 37/067 (2006.01) H01J 37/073 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
Patent
CA 2324408
A method and an accompanied apparatus for aligning an electron emitter with an extractor hole of a microcolumn. Four V-grooves (240), defined together with the window (220) for forming the membrane and having bottoms situated on two axis are microfabricated on a chip. The axis intersect at a right angle and defines a center point for the extractor hole (230). The V-grooves are then used as references to align the electron emitter with the extractor hole, one axis at a time. The emitter is precisely aligned to the extractor hole because the extractor hole was formed with reference to the V-grooves. The thickness of the chip is used as the spacing reference between the emitter and the extractor.
L'invention concerne un procédé et un appareil associé permettant d'aligner un émetteur d'électrons sur l'ouverture d'extracteur d'une microcolonne. Quatre sillons en V, définis avec la fenêtre (220) pour former la membrane et dont les fonds se situent sur deux axes, sont microabriquées sur une puce. Les axes se coupent à angle droit, définissant un point central pour le trou d'extracteur. Les sillons en V (240) servent ensuite de références pour l'alignement de l'émetteur d'électrons sur le trou d'extracteur, selon un axe à la fois. L'émetteur est aligné avec précision par rapport au trou d'extracteur (230), car ce dernier (230) est formé sur la base des sillons en V. L'épaisseur de la puce sert de référence d'espacement entre l'émetteur et l'extracteur.
Chang T. H. P.
Kim Ho-Seob
Lee Kim Y.
Etec Systems Inc.
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1620899