Precision motion control using feed forward of acceleration

Details Precision motion control using feed forward of acceleration Precision motion control using feed forward of acceleration

G - Physics

05

D

G05D 3/00 (2006.01) B23Q 16/00 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) G05B 11/42 (2006.01) G05B 19/404 (2006.01) G05D 3/12 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01)

Patent

CA 2522922

High precision position control apparatus. An object supported on a frame of reference (10) is moved by an actuator (14). A position sensor (16) generates a position signal and an acceleration sensor (24) affixed to the frame of reference (10) generates an acceleration signal. A control system responds to the position signal and the acceleration signal to control the actuator (14) to move the object to follow a commanded trajectory with reduced following error.

L'invention concerne un appareil de commande de position de haute précision. Selon l'invention, un objet supporté sur une structure servant de repère (10) est déplacé par un actionneur (14). Un capteur de position (16) produit un signal de position et un capteur d'accélération (24) fixé à la structure servant de repère (10) produit un signal d'accélération. Un système de commande réagit au signal de position et au signal d'accélération pour commander l'actionneur (14) de sorte qu'il déplace l'objet en suivant une trajectoire commandée avec une erreur de suivie réduite.

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