G - Physics
01
L
G01L 13/02 (2006.01) G01L 15/00 (2006.01)
Patent
CA 2455694
A differential pressure sensor chip (4) comprises a diaphragm for measuring pressure difference and converts a pressure received by this diaphragm into an electrical signal. An electrostatic pressure sensor chip (5) comprises a diaphragm for measuring an electrostatic pressure and converts a pressure received by this diaphragm into an electrical signal. The differential pressure sensor chip (4) and an electrostatic pressure sensor chip (5) are mounted on a header (1) so that one face of the sensor chip (4) and one face of the sensor chip (5) may be exposed to the interior of a common pressure introducing chamber (17).
L'invention concerne une puce (4) de capteur de pression différentielle comprenant un diaphragme permettant de mesurer une différence de pression, et convertissant une pression reçue par le biais de ce diaphragme en un signal électrique. Une puce (5) de capteur de pression électrostatique comprend un diaphragme permettant de mesurer une pression électrostatique et convertit une pression reçue par le biais de ce diaphragme en un signal électrique. La puce (4) de capteur de pression différentielle et une puce (5) de capteur de pression électrostatique sont montées sur une tête (1) de sorte qu'une surface de la puce de capteur (4) et qu'une surface de la puce de capteur (5) font face à l'intérieur d'une chambre d'introduction de pression commune (17).
Macrae & Co.
Yamatake Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1992643