Pressure transducer

Details Pressure transducer Pressure transducer

G - Physics

01

L

G01L 9/00 (2006.01) G01L 19/04 (2006.01) G01L 19/14 (2006.01)

Patent

CA 2529471

One aspect is a pressure transducer package (4) comprising a housing, a diaphragm (20), a support (32) disposed in the housing and a sensing element (30) disposed in the housing between the diaphragm and the support so that the pressure from the environment acts on the diaphragm to compress the sensing element. The sensing element comprises at least one substrate having a coefficient of thermal expansion greater than 4 ppm/k , e.g. sappphire. In another aspect, the sensing element comprises at least one substrate formed of a first material, e.g. sappphire and an epitaxial layer of a second material e.g silicon or gallium nitride having a lower coefficient of thermal expansion. In a further aspect, the support (32) abuts the housing at a spherically-shaped interface (52,64) to compensate for misalignment between the support (32) and the sensing element (30) to ensure that the sensing element is evenly loaded.

Dans un mode de réalisation de l'invention, un ensemble transducteur de pression comprend un logement, un diaphragme, un support disposé dans le logement et un élément de détection disposé dans le logement entre le diaphragme et le support, de sorte que la pression de l'environnement agit sur le diaphragme, de manière à comprimer l'élément de détection. L'élément de détection comprend au moins un substrat comprenant un coefficient d'expansion thermique supérieur à 4 ppm/k. Dans un autre mode de réalisation l'élément de détection comprend au moins un substrat fabriqué dans une première matière et une couche épitaxiale d'une seconde matière présentant un coefficient d'expansion thermique plus faible. Dans un autre aspect de l'invention, le support entre en butée avec le logement sur une interface formée de manière sphérique, de manière à compenser le décalage entre le support et l'élément de détection, ceci permettant d'assurer la charge de l'élément de détection.

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