Probe card device and probe for use therein

G - Physics – 01 – R

Patent

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Details

G01R 1/073 (2006.01) G01R 1/067 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)

Patent

CA 2406111

A probe (1A) is provided with an edge part (2) at the end of the probe (1A) to be brought into contact with a pad electrode (5). The edge part (2) has a blade edge (2a) in one plane parallel with the direction in which the edge part (2) slides on the pad electrode (5) while being in contact with the pad electrode. The blade edge (2a) has a shape that it is nearer to the pad electrode (5) from the front toward the rear in the direction where the edge part (2) slides on the pad electrode (5). Since the edge blade (2a) cuts into an insulation film (7) formed on the pad electrode (5), good electrical connection between the probe (1A) and the pad electrode (5) is ensured, thus providing a probe card device.

Un élément de test (1A) est pourvu d'une partie (2) de tranche située à l'extrémité de l'élément de test (1A) devant être mise en contact avec une électrode (5) en forme de pastille. La partie (2) de tranche comporte une arête (2a) située dans un plan qui est parallèle au sens de glissement de la partie (2) de tranche sur l'électrode (5) en forme de pastille alors qu'elle se trouve en contact avec l'électrode en forme de pastille. L'arête (2a) a une forme qui est proche de celle de l'électrode (5) en forme de pastille depuis l'avant jusqu'à l'arrière dans le sens de glissement de la partie (2) de tranche sur l'électrode (5) en forme de pastille. Etant donné que l'arête (2a) coupe et pénètre dans un film isolant (7) formé sur l'électrode (5) en forme de pastille, ceci assure une bonne connexion électrique entre l'élément de test (1A) et l'électrode (5) en forme de pastille et constitue ainsi une carte de test.

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