G - Physics – 01 – Q
Patent
G - Physics
01
Q
G01Q 20/02 (2010.01) G01Q 10/00 (2010.01)
Patent
CA 2727118
A probe detection system (74) for use with a scanning probe microscope comprises both a height detection system (88) and deflection detection system (28). As a sample surface is scanned, light reflected from a microscopeprobe (16) is separated into two components. Afirstcomponent (84) is analysed by thedeflection detection system (28) and is used in a feedback sys-temthatmaintainsthe average probe deflection substantially constant during the scan. The second component (86) is analysed by the height detection system (88) from which an indication of the heightof the probe above a fixed reference point, and thereby an image of the sample surface, is obtained. Such a dual detection system is particularly suited for use in fast scanning applications in which thefeedback systemis unableto respond at the raterequired to adjust probe height betweenpixel positions.
L'invention concerne un système de détection de sondes (74) utilisé avec un microscope-sonde à balayage, qui comprend à la fois un système de détection de hauteur (88) et un système de détection de déviation (28). Lorsqu'une surface échantillon est balayée, la lumière réfléchie par un microscope-sonde (16) est séparée en deux composants. Un premier composant (84) est analysé par le système de détection de déviation (28), puis utilisé dans un système de rétroaction qui conserve la déviation de sonde moyenne sensiblement constante durant le balayage. Le second composant (86) est analysé par le système de détection de hauteur (88) à partir duquel on obtient une indication de la hauteur de la sonde au-dessus d'un point de référence fixe et, par conséquent, une image de la surface échantillon. Ce double système de détection est particulièrement indiqué pour des applications de balayage rapides dans lesquelles le système de rétroaction est incapable de répondre à la vitesse requise pour ajuster la hauteur de sonde entre les positions de pixels.
Bennett Jones Llp
Infinitesima Ltd.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1860290