B - Operations – Transporting – 01 – J
Patent
B - Operations, Transporting
01
J
B01J 19/08 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01)
Patent
CA 2705577
The invention relates to a process and apparatus for atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition coating using a first electrode (33) and a second electrode (34). The second electrode is positioned apart from the first electrode thereby defining a volume space (42) between the first and second electrodes which volume space is covered by a duct sealed to the electrodes. Gas is flowed from the volume space between the first and second electrodes at the same or at a greater flow rate than the sum of gaseous coating precursor mixtures flowed to the first and second electrodes. In addition, the invention relates to an improved electrode assembly for use in an atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition coating system. The electrode assembly includes a means for distributing a gaseous coating precursor mixture to emerge from an electrode assembly. The improvement relates to a gas distributing subassembly of the electrode assembly.
L'invention porte sur un procédé et un appareil permettant d'effectuer un revêtement par dépôt chimique en phase vapeur augmenté par plasma à pression atmosphérique à l'aide d'une première électrode (33) et d'une seconde électrode (34). La seconde électrode est disposée à distance de la première électrode, de manière qu'est défini, entre la première et la seconde électrode, un espace volumique (42) recouvert d'un conduit scellé aux électrodes. On fait circuler un gaz, depuis l'espace volumique situé entre la première et la seconde électrode, avec un débit supérieur ou égal à la somme des mélanges gazeux précurseurs de revêtement s'écoulant vers la première et la seconde électrode. L'invention se rapporte également à un ensemble électrode amélioré utilisé dans un système de revêtement par dépôt chimique en phase vapeur augmenté par plasma à pression atmosphérique. L'ensemble électrode comprend des moyens de distribution d'un mélange gazeux de précurseurs de revêtement en provenance de l'ensemble électrode. L'amélioration concerne un sous-ensemble de distribution de gaz de l'ensemble électrode.
de Rijcke Alphonsus J. P.
Haley Robert P.
Rhoton Christina A.
Vreys Mark G. C.
Dow Global Technologies Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1699553