G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 9/023 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01) G03H 1/08 (2006.01)
Patent
CA 2215600
The invention concerns a process for determining three-dimensional structures in the submicron range, which process operates with a coherent beam (3), in particular a laser beam, divided into two partial beams (5a, 11a, 14a; 5b, 11b, 21). The first partial beam (5a, 11b, 21) is focused on an object (1) to be dimensioned structurally with a focusing diameter (24) having approximately the wavelength of the beam. The radiation (25) reflected back from the focus point (24) by the focusing lens (23) is superimposed with the radiation of the second partial beam (5a, 11a, 14a) on a detector field (19) comprising a plurality of mutually independent detectors, and the location-dependent radiation intensity values on the detectors are converted by the latter into analogue electrical signals and stored. Complex amplitude values are determined in each case from these stored values with first phase values of the local wave field at the location (19) of the detectors. Second phase values are formed from the given first phase values by multiplication with a predetermined value. With these second phase values, the intensity values of the original complex amplitude values stored in first memories (30), and the location co-ordinates of the respective detectors, an enlarged object structure is calculated and can be displayed graphically as an enlarged or hologram-like image with structures in the submicron range.
L'invention concerne un procédé de détermination de structures tridimensionnelles de l'ordre du submicron, ledit procédé fonctionnant avec un rayonnement cohérent (3), notamment un rayon laser, divisé en deux faisceaux partiels (5a, 11a, 14a; 5b, 11b, 21). Le premier faisceau partiel (5b, 11b, 21) est focalisé sur un objet (1) à dimensionner structurellement, avec un diamètre focal (24) pratiquement équivalent à la longueur d'onde du rayonnement. Le rayonnement du deuxième faisceau (5a, 11a, 14a) sur un champ de détecteurs (19) présentant plusieurs détecteurs indépendant les uns des autres, est superposé au faisceau réfléchi (25) par la lentille de focalisation (23) à partir du point focal (24), et les valeurs d'intensité de rayonnement sur les détecteurs, qui sont conditionnées par l'emplacement des détecteurs, sont converties par ces détecteurs en signaux électriques analogiques avant d'être mises en mémoire. Des valeurs d'amplitudes complexes sont déterminées à partir de ces valeurs mémorisées, avec un premier ensemble de valeurs de phase du champ d'ondes local, à l'emplacement (19) des détecteurs. On obtient un second ensemble de valeurs de phase à partir de ce premier ensemble de valeurs de phase, en multipliant celui-ci par une valeur prédéterminée. Ce second ensemble de valeurs de phase, les valeurs d'intensité des valeurs d'amplitudes complexes d'origine, stockées dans des mémoires (30), ainsi que les coordonnées de l'emplacement de chaque détecteur permettent de calculer une structure d'objet agrandie et de représenter cette dernière graphiquement sous forme d'une image agrandie ou de type hologramme présentant des structures de l'ordre du submicron.
Hodel Walter
Romano Valerio
Weber Heinz Paul
Fetherstonhaugh & Co.
Weber Heinz Paul
LandOfFree
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