G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 3/00 (2006.01) G01B 15/02 (2006.01)
Patent
CA 2196942
1.1 A Process for Manufacturing and Calibrating a Ruler in the Nanometre Range for Technical Apparatuses that are Used for High-resolution or Ultra-high Resolution 2.1 The present invention describes the production and calibration of a ruler used to calibrate the above stated technical apparatuses. 2.2 At least two different crystalline or amorphous materials are used to construct the ruler; these should differ appropriately from each are in their contrast during imaging. These layers of material are deposited as a sequence of heterolayers on a carrier material, using a suitable material deposition process. The heterolayer sequence that is produced is described experimentally with at least one analytical method that is sensitive to the individual layer thicknesses of the heterolayer sequence. The data obtained by the analytical method are evaluated and recorded. By separating the heterolayer sequence in the direction of deposition, it is possible to render the layer structure visible. 2.3 The solution according to the present invention is suitable, in particular, for calibrating technical apparatuses that are used in raster electron microscopy, transmission electron microscopy, or raster probe microscopy (raster power microscopy, raster tunnel microscopy. 3.0 Figure 1.
1.1 L'invention est une méthode de fabrication et d'étalonnage d'une règle nanométrique pour appareils techniques à haute résolution ou à ultrahaute résolution. 2.1 La présente invention décrit la fabrication et l'étalonnage d'une règle utilisée pour étalonner les appareils techniques mentionnés ci-dessus. 2.2 Au moins deux matériaux cristallins ou amorphes différents sont utilisés dans la fabrication de cette règle; ils doivent être suffisamment différents l'un de l'autre. Des couches de ces matériaux sont déposées sur un support, au moyen d'un procédé de dépôt approprié, sous la forme d'une suite hétérogène de couches. La suite hétérogène produite est décrite expérimentalement à l'aide d'une méthode analytique au moins qui est sensible à l'épaisseur des couches individuelles de cette suite. Les données obtenues par la méthode analytique sont évaluées et enregistrées. En séparant la suite hétérogène dans la direction du dépôt, on peut rendre la structure des couches visible. 2.3 Selon la présente invention, le produit est approprié, en particulier, à l'étalonnage des appareils techniques utilisés en microscopie électronique à balayage, en microscopie électronique à transmission ou en microscopie à effet tunnel. 3.0 Figure 1.
Betz Walter
Gobel Rainer
Hillmer Hartmut
Losch Rainer
Pocker Armin
Deutsche Telekom Ag
Fetherstonhaugh & Co.
LandOfFree
Process for manufacturing and calibrating a ruler in the... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Process for manufacturing and calibrating a ruler in the..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Process for manufacturing and calibrating a ruler in the... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-2073479