H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/60 (2006.01) H01L 23/485 (2006.01)
Patent
CA 2254329
There is provided a process for manufacturing a semiconductor device. Chip sections 10a is defined on a wafer 10 by scribe lines 13 with each chip section 10a having chip electrodes 11 formed thereon. The wafer 10 is covered with a passivating film 12 except for on the chip electrodes 11. Aluminum interconnection layers 60 are provided such that each layer 60 is connected to the chip electrode 11 at one end thereof and the other end of the layer 60 is extended towards the central portion of the chip section 10a. A cover coating film 64 is applied on the passivating film 12 and the layers 60. A number of apertures 66 are formed in the coating film 64 passing therethrough, and bump electrodes 70 are formed at the position corresponding to the apertures 66. The chip sections 10a are then separated from each other along the scribe lines 13 into semiconductor devices 80.
L'invention est un processus de fabrication de dispositifs à semi-conducteur. Les puces 10a sont délimitées par des lignes de séparation 13 sur une plaquette 10, des électrodes 11 étant formées sur chaque puce 10a. La plaquette 10 est recouverte d'un film de passivation 12, sauf sur les électrodes 11 des puces. Des couches d'interconnexion d'aluminium 60 sont utilisées, chacune de ces couches 60 étant connectée à l'électrode 11 de la puce se trouvant à l'une des extrémité de la couche, l'autre extrémité étant étendue vers la partie centrale de la puce 10a. Une couche protectrice 64 est déposée sur le film de passivation 12 et les couches 60. Un certain nombre de trous sont formés dans la couche protectrice et des électrodes de contact 70 sont formées aux positions correspondants aux trous 66. Les puces 10a sont alors séparées les unes des autres le long des lignes de séparation 13 pour former des dispositifs à semi-conducteur 80.
Chikaki Shinichi
Kata Keiichiro
Corporation Nec
G. Ronald Bell & Associates
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1824401