H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/308 (2006.01) C30B 33/08 (2006.01) H01L 31/04 (2006.01)
Patent
CA 2579751
Provided is: a process for producing safely at low cost a semiconductor substrate excellent in photoelectric transduction efficiency, in which a fine uneven structure suitable for a solar cell can be formed uniformly with desired size on the surface of the semiconductor substrate; a semiconductor substrate for solar application in which a uniform and fine pyramid-shaped uneven structure is provided uniformly within the surface thereof, and an etching solution for forming a semiconductor substrate having a uniform and fine uneven structure. A semiconductor substrate is etched with the use of an alkali etching solution containing at least one kind selected from the group consisting of carboxylic acids having a carbon number of 1 to 12 and having at least one carboxyl group in a molecule, and salts thereof, to thereby form an uneven structure on the surface of the semiconductor substrate.
L~invention concerne un procédé de fabrication en toute sécurité et à faible coût d~un substrat semi-conducteur d~une grande efficacité de transduction photoélectrique, dans lequel on peut constituer une structure finement rabotée, convenant à une cellule solaire et ce, de manière uniforme et à la taille désirée à la surface du substrat semi-conducteur ; elle concerne également un substrat semi-conducteur pour application solaire comportant une structure pyramidale finement rabotée dans la surface de celui-ci ; et une solution d~attaque chimique pour la production de substrat semi-conducteur à structure uniforme et finement rabotée. Un substrat semi-conducteur subit une attaque chimique à l~aide d~une solution d~attaque chimique alcaline contenant au moins un élément sélectionné parmi le groupe consistant en acides carboxyliques C1-C12 ayant au moins un carboxyle dans chaque molécule et les sels de celui-ci pour ainsi constituer une structure rabotée à la surface du substrat semi-conducteur.
Kimura Yoshimichi
Mashimo Ikuo
Tsuchiya Masato
Mimasu Semiconductor Industry Co. Ltd.
Norton Rose Or S.e.n.c.r.l.,s.r.l./llp
Space Energy Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1454719