H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/004 (2006.01)
Patent
CA 2602808
A process for the formation of miniaturized getter deposits is described, comprising the steps of: forming a layer (11) of a photosensitive polymeric material on a support (10); selectively exposing the polymeric layer in order to cause a chemical modification in a portion of the polymeric layer; removing with a solvent only one between the previously exposed or the not previously exposed portion of the polymeric layer, thus forming cavities (12, 12', ...) in the polymeric layer; forming a thin layer (13) of a getter material through cathodic deposition at the bottom of said cavity and on the residual polymer; and removing with a second solvent the polymer portion not removed by the first solvent, leaving at least a getter material deposit (131, 131', ...; 20) on the support surface. The invention also relates to miniaturized getter deposits obtained through this process.
L'invention concerne un procédé de formation de dépôts de getter miniaturisés, comprenant les étapes consistant à : former une couche (11) d'une matière polymère photosensible sur un support (10) ; exposer sélectivement la couche de polymère afin d'induire une modification chimique dans une partie de la couche de polymère ; enlever avec un solvant seulement la partie exposée antérieurement ou non exposée antérieurement de la couche de polymère, et former ainsi des cavités (12, 12') dans la couche de polymère ; former une fine couche (13) d'une matière getter par dépôt cathodique au fond de ladite cavité et sur le polymère résiduel ; et enlever avec un second solvant la partie de polymère non enlevée par le premier solvant, laisser au moins un dépôt de matière de getter (131, 131' ; 20) sur la surface de support. L'invention porte également sur des dépôts de getter miniaturisés obtenus par ledit procédé.
Conte Andrea
Guadagnuolo Sara
Moraja Marco
Gowling Lafleur Henderson Llp
Saes Getters S.p.a.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2049575