Process for the manufacture of a hygrometer with a thin...

G - Physics – 01 – N

Patent

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Details

356/141, 356/26,

G01N 27/22 (2006.01)

Patent

CA 1195011

PRECIS DE LA DIVULGATION La présente invention a pour objet un procédé de réalisation d'un hygromètre capacitif ainsi qu'un hygromètre obtenu par ce procédé. Sur une couche conductrice formant la première électrode, on dépose une couche d'un matériau dont la constante diélectrique varie en fonction de la quantité d'eau absorbée, puis, sur cette couche de matériau diélectrique, une couche d'épaisseur supérieure à 200 .ANG. d'un métal peu oxydable formant la deuxième électrode que l'on rend perméable à l'eau par un traitement thermique à une température voisine de la température de ramollissement du diélec- trique. Application à la mesure du degré hygrométrique de l'air.

394346

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Profile ID: LFCA-PAI-O-1271319

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