Process for the preparation of chlorosilanes

Details Process for the preparation of chlorosilanes Process for the preparation of chlorosilanes

C - Chemistry, Metallurgy

07

F

23/179, 260/448.

C07F 7/12 (2006.01) C30B 25/02 (2006.01)

Patent

CA 1061795

PRECIS DE LA DIVULGATION: Procédé de préparation de dichlorosilane et de phényl- trichlorosilane. Ce procédé est caractérisé en ce que l'on fait réagir en présence d'un catalyseur constitué par du chlorure d'a- luminium et en présence d'une faible proportion d'un cocatalyseur constitué par de l'acide chlorhydrique et/ou d'alumine, du trichlo- rosilane et du diphényldichlorosilane, que l'on sépare du milieu réactionnel le dichlorosilane formé au fur et à mesure de sa for- mation et sépare ensuite en fin de réaction le phényltrichlorosi- lane obtenu. Le dichlorosilane obtenu convient spécialement à la préparation de dépôt de silicium pur par epitaxie.

231991

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