G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 11/30 (2006.01) G01N 21/49 (2006.01)
Patent
CA 2664715
L'invention concerne un procédé pour l'analyse de surface d'onde d'un faisceau de lumière (F) à partir d'une source (S) au foyer d'une lentille (O1). Le faisceau (F) illumine un échantillon (LA) au plan d'analyse (P D) et présentant un défaut (D1). Un réseau de diffraction (GR) du plan (P C) est conjugué du plan d'analyse ( P D) par un système afocal (O2, O3, O4). Une image est formée dans un plan (P S) à distance (d) du plan du réseau (GR) et analysée par des moyens de traitement (UT). L'invention code ce réseau (GR) par une fonction de phase résultant de la multiplication de deux fonctions de phase, une première fonction d'exclusion définissant un maillage de zones utiles transmettant le faisceau à analyser sous la forme de pinceaux de lumière, et une deuxième fonction fondamentale de phase qui crée une opposition de phase entre deux pinceaux de lumière issus de mailles adjacentes du réseau d'exclusion.
Guerineau Nicolas
Haiedar Riad
Primot Jerome
Toulon Bruno
Velghe Sabrina
Office National D'etudes Et de Recherches Aerospatiales (onera)
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1987853