Process pressure measurement devices with improved error...

G - Physics – 01 – L

Patent

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G01L 13/02 (2006.01) G01L 9/00 (2006.01)

Patent

CA 2373413

A device and method provide for improved error compensation in the measurement of process pressure. The device and method are able to compensate for diaphragm deformation (offset) and varying dielectric constants present in a process field environment. The pressure sensor (56), filled with a dielectric fill-fluid (95), includes at least three capacitor plates (144, 146, 148, 150), disposed about a diaphragm (102). At least two capacitor plates (144, 146) are placed on one side of a conductive diaphragm (102), and one capacitor plate (148, 150) is placed on the other side of the diaphragm (102). The method compensates for both diaphragm offset and variances in the dielectric constant of the fill-fluid (95). An error compensated measurement of differential pressure is a function of the amount of diaphragm deflection detected at the edge region (194) subtracted from the amount of diaphragm deflection detected at the center region (140). One way of measuring diaphragm deflection is to measure the changes in capacitances from two capacitors on each side of the diaphragm (102), and to combine these values to achieve an error compensated output (R) representative of the applied differential pressure.

L'invention concerne un dispositif et un procédé permettant de corriger les erreurs de façon améliorée dans la mesure de la pression de traitement. Le dispositif et le procédé peuvent corriger les déformations (décalages) de diaphragme faire varier les constantes diélectriques présentes dans un environnement de champ d'exécution. Le détecteur de pression (56), rempli par du fluide diélectrique de remplissage (95), comprend au moins trois plaques de condensateur (144, 146, 148, 150), arrangées autour du diaphragme (102). Au moins deux plaques de condensateur (148, 150) sont disposées sur un côté d'un diaphragme conducteur (102), et une plaque de condensateur (148, 150) est disposée sur l'autre côté du diaphragme (102). Le procédé de la présente invention corrige les décalages et les variations du diaphragme dans la constante diélectrique du fluide de remplissage (95). La mesure de pression différentielle d'une erreur corrigée dépend du taux de déflexion du diaphragme détecté dans la région de bord (194) soustrait du taux de déflexion du diaphragme détecté dans la région centrale (140). Une façon de mesurer la déflexion du diaphragme est de mesurer les variations de capacitances de deux conducteurs de chaque côté du diaphragme (102), et de combiner les valeurs afin d'exécuter un rapport (R) d'erreur corrigée correspondant à la pression différentielle appliquée.

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