H - Electricity – 01 – S
Patent
H - Electricity
01
S
H01S 3/10 (2006.01) B23K 26/36 (2006.01) H01L 21/82 (2006.01)
Patent
CA 2749329
A laser processing system provides a burst of ultrafast laser pulses having a selectively shaped burst envelope. A burst pulse laser includes a high repetition rate ultrafast laser to deliver a pulse train with each pulse in the train having an independently controlled amplitude. The respective amplitudes of each ultrafast pulse in a group define a "burst envelope." In addition to independently controlling the amplitude of each ultrafast pulse within the burst envelope, the system may also provide selective control of spacing between each ultrafast pulse and/or the overall temporal width of the burst envelope. Thus, the system provides selective shaping of the burst envelope for particular laser processing applications.
Un système de traitement au laser fournit une salve d'impulsions laser ultrarapides ayant une enveloppe de salves mise en forme de manière sélective. Un laser à impulsions en salves comprend un laser ultrarapide à grande cadence de répétition pour délivrer un train d'impulsions, chaque impulsion dans le train ayant une amplitude contrôlée de manière indépendante. Les amplitudes respectives de chaque impulsion ultrarapide dans un groupe définissent une « enveloppe de salves ». En plus de contrôler de manière indépendante l'amplitude de chaque impulsion ultrarapide au sein de l'enveloppe de salves, le système peut également offrir un contrôle sélectif de l'espacement entre deux impulsions ultrarapides et/ou de la largeur temporelle globale de l'enveloppe de salves. Ainsi, le système fournit une mise en forme sélective de l'enveloppe de salves pour des applications particulières de traitement au laser.
Hooper Andrew
Peng Xiaoyuan
Electro Scientific Industries Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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