Purification of hydrogen peroxide

C - Chemistry – Metallurgy – 01 – B

Patent

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C01B 15/013 (2006.01) B01D 61/00 (2006.01) B01D 61/14 (2006.01) B01J 39/20 (2006.01)

Patent

CA 2064090

The electronics industry demands that hydrogen peroxide for use therein be purified to very low levels of impurities, currently at the level of a few ppb for some impurities, or even lower. However, existing methods are either inherently unsafe because they bring concentrated hydrogen peroxide into contact with a concentrate of transition metal decomposition agents for peroxide and a purification resin which acts as a source of carbon, or are unable to attain the desired impurity level. In the instant purification process, the hydrogen peroxide solution is passed through a membrane having a very small pore size which contains an ion exchange resin that is capable of removing alkali and alkaline earth metal ions from solution. The feed solution is characterised in that is contains no more than a small proportion by weight of transition metals that catalyse hydrogen peroxide decomposition compared with the total metals content. The feed solution in some embodiments results from a prior treatment of an iron or copper contaminated solution with a dispersion of stannic oxide.

Pour répondre aux besoins de l'industrie électronique, le peroxyde d'hydrogène qu'elle utilise doit être purifié pour atteindre de très faibles quantités d'impuretés, actuellement de l'ordre de quelques parties par milliard pour certaines impuretés, voire moins. Or, les méthodes actuelles sont, soit intrinsiquement peu sûres, parce qu'elles amènent le peroxyde d'hydrogène en contact avec un concentré d'agents de décomposition de métal transitoire pour le peroxyde et avec une résine de purification qui joue le rôle de source de carbone, soit ne permettent pas d'obtenir le minimum voulu d'impuretés. Dans le procédé de purification décrit, la solution de peroxyde d'hydrogène est filtrée à travers une membrane percée de pores minuscules et contenant une résine échangeuse d'ions capable d'éliminer de la solution les ions de métaux alcalins et alcalino-terreux. La caractéristique de la solution de départ est qu'elle ne contient pas plus d'une faible proportion par poids de métaux transitoires qui catalysent la décomposition du peroxyde d'hydrogène, comparée à la teneur totale en métaux. Dans certaines versions, la solution de départ résulte du traitement préliminaire d'une solution contaminée au fer ou au cuivre avec une dispersion d'oxyde stannique.

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