G - Physics – 05 – B
Patent
G - Physics
05
B
G05B 15/00 (2006.01) B23K 26/00 (2006.01) B23K 26/38 (2006.01) G06F 19/00 (2006.01) H05K 3/00 (2006.01)
Patent
CA 2440694
A quasi-CW diode- or lamp-pumped, A-O Q-switched solid-state UV laser system (10) synchronizes timing of the quasi-CW pumping with movement of the positioning system (36) to reduce pumping while the positioning system (36) is moving from one target area (31) to the next target area (31) to form multiple vias in a substrate at a high throughput. Thus, the available UV power for via formation is higher even though the average pumping power to the laser medium (16), and thermal loading of the laser pumping diodes (14), remains the same as that currently available through conventional CW pumping with conventionally available laser pumping diodes (14). The quasi-CW pumping current profile can be further modified to realize a preferred UV pulse amplitude profile.
La présente invention concerne un système laser ultraviolet solide déclenché acoustiquement et optiquement quasi-continu à pompe diode ou à pompe lampe (10) effectuant la synchronisation du pompage quasi-continu avec le mouvement du système de positionnement (36) afin de réduire le pompage lorsque le système de positionnement (36) se déplace d'une zone cible (31) vers la prochaine zone cible (31) en vue de former une pluralité de vias dans un substrat à un débit élevé. Ainsi, l'énergie UV disponible pour la formation de vias est plus élevée malgré le fait que la puissance moyenne de pompage au milieu laser (16), et la charge thermique des diodes de pompage laser (14), soient semblables à celle qui est normalement disponible dans le pompage à onde entretenue conventionnel avec des diodes de pompage laser standard existantes (14). Le profil du courant de pompage à onde quasi-entretenue peut être davantage modifié pour produire un profil d'amplitude d'impulsions UV préféré.
Harris Richard S.
Sun Yunlong
Electro Scientific Industries Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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